Совмещенные масс-спектрометр и электронный спектрометр для исследований твердого тела

В работе рассмотрена возможность создания совмещенных в одной оптической системе энергоанализатора электронов и ионов и масс-спектрометра ионов для исследования свойств твердого тела. Основой совмещенных спектрометров являются источник потока частиц, трансформирующий спектр масс в спектр энергий за счет воздействия на ионы импульсов электрического поля, и электростатический энергоанализатор высокого разрешения с двумерным полем и плоскостью симметрии. Частицы в источнике возникают в результате взаимодействия возбуждающего излучения (потоки ионов, атомов, лазерного излучения) из независимых источников с поверхностью исследуемого твердого тела. Проведено численное моделирование работы устройства, подтверждающее реализуемость предложенного метода.