Создание ДОЭ для формирования точечных эталонных изображений в оптических системах
Автор: Одиноков Сергей Борисович, Сагателян Гайк Рафаэлович, Ковалв Михаил Сергеевич, Соломашенко Артем Борисович, Дроздова Екатерина Андреевна
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 3 т.37, 2013 года.
Бесплатный доступ
Обоснована возможность формирования изображения в виде пяти расположенных крестообразно точек при помощи дифракционного оптического элемента (ДОЭ), содержащего пять работающих во втором порядке дифракции при наклонном падении света фазовых дифракционных решёток с прямоугольным профилем, занимающих суммарно не более 1% площади ДОЭ. Рассмотрены возможности изготовления ДОЭ с использованием установки плазмохимического травления «Caroline 15 PE». Установлено, что при глубине поверхностного микрорельефа до 1,4 мкм и наклонном падении света достигается дифракционная эффективность ДОЭ до 0,3 – 0,35 во втором порядке дифракции.
Оптическое стекло, бинарный микрорельеф, наклонное падение света, глубина канавок, фазовые дифракционные решётки, плазмохимическое травление, дифракционная эффективность
Короткий адрес: https://sciup.org/14059176
IDR: 14059176
Creation of DOE to form the calibration dot patterns inside the optical systems
The possibility of formation of the image in the form of five cross-located points by means of diffraction optical elements (DOE), containing five phase diffraction gratings with rectangular profile, which are working in the second order of diffraction at tilted incidence of the light, occupying total not more than 1% of the area of the DOE. The possibilities of manufacturing a DOE using the “Caroline 15 PE” plasma-chemical etching (PCE) machine are considered. It is established, that on the up to 1,4 m m deepness of surface micro-relief on optical glass and tilted incidence of light, the diffraction efficiency of DOE up to 0,3 – 0,35 on the second order of diffraction is achieved.
