Формирование микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием полиимидных пленок

Берендяев В.И.; Волков А.В.; Казанский Н.Л.; Котов Б.В.; Соловьев В.С.

Научные статьи \ Математика. Естественные науки \ Физика \ Оптика

Формирование микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием полиимидных пленок

Берендяев В.И. Волков А.В. Казанский Н.Л. Котов Б.В. Соловьев В.С.

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Рубрика: Технологии компьютерной оптики

Статья в выпуске: 20, 2000 года.

Бесплатный доступ

Предлагается метод формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ) с использованием в качестве фоточувствительного слоя полиимидных пленок, как плазмостойких материалов. Исследуется возможность получения более высокого микрорельефа при меньших толщинах фоточувствительного слоя.

Похожие статьи в разделе Оптика

Формирование микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием достижений микроэлектроники

Волков А.В., Скиданов Р.В.

Контроль изменения показателя преломления в жидких фотополимеризующихся композициях

Волков А.В., Казанский Н.Л., Соловьев В.С.

Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов

Волков Алексей Васильевич, Казанский Николай Львович, Сойфер Виктор Александрович, Соловьев Владимир Степанович

Тонкопленочная медь как маскирующий слой в процессе плазмохимического травления кварца

Волков А.В., Володкин Б.О., Дмитриев С.В., Ерополов В.А., Моисеев О.Ю., Павельев В.С.

Создание ДОЭ для формирования точечных эталонных изображений в оптических системах

Одиноков Сергей Борисович, Сагателян Гайк Рафаэлович, Ковалв Михаил Сергеевич, Соломашенко Артем Борисович, Дроздова Екатерина Андреевна

Исследование рельефа плёночных дифракционных оптических элементов

Каминская Татьяна Петровна, Попов Владимир Викторович, Салецкий Александр Михайлович

Короткий адрес: https://sciup.org/14058454

IDS: 14058454 | УДК: 535.8