Электродиффузионная надёжность тонкоплёночной металлизации на основе поликристаллических плёнок алюминия
Автор: Вершков Д.А., Архипов А.В.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Статья в выпуске: 6-1 (12), 2016 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрен процесс электродиффузионного разрушения тонкоплёночного алюминиевого проводника. Проведён анализ причин возникновения электромассопереноса, а такжеосновныхметодов борьбы с данным явлением. В результате предложен новый
Надёжность, дефект, электродиффузия, энергия активации, граница зерна, "тройная точка"
Короткий адрес: https://sciup.org/140269119
IDR: 140269119
Список литературы Электродиффузионная надёжность тонкоплёночной металлизации на основе поликристаллических плёнок алюминия
- Колешко В.М.Массоперенос в тонких плёнках /В.М. Колешко, В.Ф. Белицкий.-Мн: Наука и техника,1980. -296 с.
- Тонкие плёнки -взаимная диффузия и реакции/Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера -М.: Мир, 1982. -576 с.
- Архипов А. В. Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников на основе эпитаксиальной пленки алюминия: дисс. канд. техн. наук:. Санкт-Петербург, 1996.
Статья научная
