КИНЕТИКА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПЛЕНОК n-ТИПА ПРИ ХЕМОСОРБЦИИ ГАЗОВ-ОКИСЛИТЕЛЕЙ (КРАТКОЕ СООБЩЕНИЕ)
Автор: С. А. Казаков, М. А. Гревцев, И. Э. Джагацпанян, А. О. Волчек
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 1, 2024 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрена модель хемосорбции акцепторных частиц на поверхности металлооксидных полупроводников n-типа проводимости. Получено выражение для безразмерной величины электропроводности как функции концентрации детектируемой микропримеси. Показано, что величина адсорбции пропорциональна концентрации аналита в газовой фазе.
Адсорбция, поверхность, электропроводность, металлооксидный полупроводник, концентрация, дефектная структура
Короткий адрес: https://sciup.org/142240140
IDR: 142240140 | УДК: 544.723, 537.311.322
KINETICS OF CONDUCTIVITY OF n-TYPE SEMICONDUCTOR METAL OXIDE FILMS DURING CHEMOSORPTION OF OXIDIZING GASES
The article considers a model of chemisorption of acceptor particles on the surface of n-type metal oxide semiconductors. An expression is obtained for the dimensionless electrical conductivity as a function of the concentration of the detected microimpurity. It has been shown that the adsorption value is proportional to the analyte concentration in the gas phase.
Список литературы КИНЕТИКА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПЛЕНОК n-ТИПА ПРИ ХЕМОСОРБЦИИ ГАЗОВ-ОКИСЛИТЕЛЕЙ (КРАТКОЕ СООБЩЕНИЕ)
- 1. Мясников И.А., Сухарев В.Я., Куприянов Л.Ю., Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры в физикохимических исследованиях. М.: Наука, 1991. 327 c.
- 2. Киселёв В.Ф., Крылов О.В. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1978. 317 с.
- 3. Робертс М., Макки Ч. Химия поверхности металл – газ. М.: Мир, 1981. 543 с.
- 4. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. 345 с.
- 5. Гаман В.И. Физика полупроводниковых газовых сенсоров. Томск: Изд-во НТЛ, 2012. 112 с
- 6. Казаков С.А., Каминский В.В., Соловьёв С.М., Шаренкова Н.В. Полупроводниковые газовые датчики кислорода на основе поликристаллических пленок сульфида самария // Научное приборостроение. 2015. Т. 25, № 3. С. 116–123. URL: http://iairas.ru/mag/2015/full3/Art11.pdf
- 7. Челибанов В.П., Казаков С.А., Лебедев С.Г., Рябцев С.В., Туренко А.А. Совершенствование представлений по референтным и эквивалентным средствам измерений озона в газовой фазе // Материалы конференции "Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии", Москва, 2005. URL: https://www.kge.msu.ru/ozone/archives/1rus_conf_pr/Plenary/P9-Chelibanov.pdf
- 8. Обвинцева Л.А. Полупроводниковые металлооксидные сенсоры для определения химически активных газовых примесей в воздушной среде // Журнал Российского химического общества им. Д.И. Менделеева. 2008. Т. LII, № 2. С. 113–121. URL: https://www.chem.msu.su/rus/jvho/2008-2/113.pdf
