КИНЕТИКА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПЛЕНОК n-ТИПА ПРИ ХЕМОСОРБЦИИ ГАЗОВ-ВОССТАНОВИТЕЛЕЙ
Автор: С. А. Казаков, М. А. Гревцев, И. Э. Джагацпанян, А. О. Волчек
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 2, 2024 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрена кинетика адсорбции газов-восстановителей на поверхности металлооксидных полупроводниковых газочувствительных пленок n-типа проводимости. Показано, что их чувствительность в первом приближении пропорциональна концентрации детектируемой примеси. Данная работа является продолжением ранее опубликованного исследования, в котором рассматривалась хемосорбция газовокислителей на поверхности полупроводника n-типа проводимости.
Адсорбция, поверхность, электропроводность, металлооксидный полупроводник, концентрация, дефектная структура
Короткий адрес: https://sciup.org/142240255
IDR: 142240255
Список литературы КИНЕТИКА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПЛЕНОК n-ТИПА ПРИ ХЕМОСОРБЦИИ ГАЗОВ-ВОССТАНОВИТЕЛЕЙ
- 1. Мясников И.А., Сухарев В.Я., Куприянов Л.Ю., Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры в физикохимических исследованиях. М.: Наука, 1991. 327 c.
- 2. Киселев В.Ф., Крылов О.В. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1978. 317 с.
- 3. Гаман В.И. Физика полупроводниковых газовых сенсоров. Томск: Изд-во НТЛ, 2012. 112 с.
- 4. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. 345 с.
- 5. Казаков С.А., Гревцев М.А., Джагацпанян И.Э., Волчек А.О. Кинетика проводимости полупроводниковых металлооксидных пленок n-типа при хемосорбции газов-окислителей (краткое сообщение) // Научное приборостроение. 2024. Т. 34, № 1. С. 26–29. URL: http://iairas.ru/mag/2024/abst1.php#abst3
- 6. Гаськов А.М., Румянцева М.Н., Васильев Р.Б., Чижов А.С. Способ изготовления материала газового сенсора для детектирования монооксида углерода CO без нагревания. Патент РФ № RU 2544272C2, 17.06.2013. URL: https://patents.google.com/patent/RU2544272C2/ru
- 7. Seiyama T., Kagawa S. Study on a detector for gaseous components using semiconductive thin films // Analytical Chemistry. 1966. Vol. 38, no. 8. P. 1069–l073. DOI: 10.1021/ac60240a031
- 8. Heiland G. Homogeneous semiconducting gas sensors // Sensors and Actuators. 1981. Vol. 2. P. 343–361. DOI: 10.1016/0250-6874(81)80055-8
- 9. Дуйкова М.В., Шконда С.Э., Казаков С.А., Гревцев М.А. Изготовление и исследование металлоксидных полупроводниковых газовых сенсоров на аммиак // Научное приборостроение. 2020. Т. 30, № 4. С. 52–62. URL: http://iairas.ru/mag/2020/abst4.php#abst6
