Оценивание влияния параметров металлизации на рабочие характеристики компонентов на поверхностных акустических волнах
Автор: Маринушкин П.С., Левицкий А.А., Фадеев В.О.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Рубрика: Исследования. Проектирование. Опыт эксплуатации
Статья в выпуске: 1 т.17, 2024 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты исследования влияния параметров электродной структуры встречно-штыревых преобразователей на основные характеристики поверхностных акустических волн (ПАВ) в подложках ниобата лития YZ-среза. В результате численного анализа получены оценки влияния коэффициента металлизации и относительной толщины металлизации на величину эффективной скорости волны и коэффициент отражения. Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации конструкций акустоэлектронных компонентов на ПАВ.
Акустоэлектроника, металлизация, поверхностные акустические волны, пьезоэлектричество, фильтры
Короткий адрес: https://sciup.org/146282841
IDR: 146282841
Список литературы Оценивание влияния параметров металлизации на рабочие характеристики компонентов на поверхностных акустических волнах
- Осетров А. В., Нгуен В. Ш. Расчет параметров поверхностных акустических волн в пье-зоэлектриках методом конечных элементов, Вычислительная механика сплошных сред, 2011, 4(4), 71-80 [Osetrov А. V., Nguyen V. Sh. Calculation of parameters of surface acoustic waves in piezoelectrics by the finite element method, Computational mechanics of continuous media, 2011,4(4), 71-80 (in Rus.)]
- Иванов А. Б, Левицкий А. А., Маринушкин П. С., Масюгин А.Н., Поляков Д. И. Выбор весовых функций при проектировании встречно-штыревых преобразователей устройств на поверхностных акустических волнах, Современные проблемы радиоэлектроники: сборник трудов Всероссийской научно-технической конференции. Красноярск: СФУ, 2022, 313-319. [Ivanov А.В., Levitsky A. A., Marinushkin P. S., Masyugin A.N., Polyakov D.I. Selection of weight functions when designing interdigital transducers of devices on surface acoustic waves, Modern problems of radio electronics: proceedings of the All-Russian scientific and technical conference. Krasnoyarsk: SFU, 2022, 313-319. (in Rus.)]
- Аристархов Г. M., Гуляев Ю. В., Дмитриев В. Ф. и др. Фильтрация и спектральный анализ радиосигналов. Алгоритмы. Структуры. Устройства. М.: Радиотехника, 2020. 504 с. [Aristarkhov G.M., Gulyaev Yu. V., Dmitriev V.F. et al. Filtering and spectral analysis of radio signals.Algorithms. Structures. Devices, Moscow: Radiotekhnika, 2020. 504 p. (inRus.)]
- Койгеров A.C., Балышева О. Л. Быстрый численный расчет параметров поверхностных акустических волн Рэлея для модели связанных мод, Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника, 2022, 25(5), 67-79. [Koigerov A. S., Balysheva О. L. Fast numerical calculation of the parameters of Rayleigh surface acoustic waves for the coupled mode model, Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii Rossii. Radioelektronika, 2022, 25(5), 67-79. (inRus.)]
- Чиа-Чи Сунг, Чич-Юнг Хуанг. Свойства псевдомод поверхностных акустических волн в кварцевых подложках ST-среза и влияние толщины металлических пленок, Акустический журнал, 2006, 52(3), 401-407. [Chia-Chi Sung, Chich-Yung Huang. Properties of pseudomodes of surface acoustic waves in ST-cut quartz substrates and the influence of the thickness of metal films, Acoustic Journal, 2006, 52(3), 401-407. (inRus.)]
- Gong S., Lu R., Yang Y., Gao L. and Hassanien A.E. Microwave Acoustic Devices: Recent Advances and Outlook, IEEE Journal ofMicrowaves, 2021, 1(2), 601-609.
- Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах. М.: Радио и связь, 1990. 415 с. [Morgan D. Surface Acoustic Waves Devices of Processing of Signals. Radio and Communication: Moscow, 1990. 415 p.]
- Багдасарян А. С., Гуляев Ю.В., Доберштейн С. А., Синицына Т. В. Техника. ПАВ: ближайшие перспективы, Техника радиосвязи, 2017, 3(34), 72-84 [Bagdasaryan A. S., Gulyaev Yu. V., Doberstein S.A., Sinitsyna T.V. Technique. SAW: immediate prospects, Radio communication technology, 2017, 3 (34), 72-84 (inRus.)]
- Койгеров А. С., Корляков А. В. Моделирование методом конечных элементов устройств на поверхностных акустических волнах с использованием пакета COMSOL, Микроэлектроника, 2022, 51(4), 272-282 [Koigerov A. S., Korlyakov А. V. Finite element modeling of surface acoustic wave devices using the COMSOL package, Microelectronics, 2022, 51(4), 272-282. (in Rus.)]
- Койгеров А. С. Мультифизическое моделирование двухмодового фильтра на ПАВ, Техника радиосвязи, 2022, 2(53), 118-127 [Koigerov A. S. Multiphysics modeling of a two-mode SAW filter, Radio Communication Engineering, 2022, 2(53), 118-127. (in Rus.)]
- Hao W, Liu J, Liu M, Liang Y, He S. Mass Sensitivity Optimization of a Surface Acoustic Wave SensorlncorporatingaResonatorConfiguration. Sensors. 2016, 16(4), 562.
- On the Finite-Element Analysis of Resonance MEMS Structures based on Acoustic Lamb Waves. JournalofMicroelectronics, ElectronicComponents andMaterials, 2020, 50(3), 179-187.
- AuldB. A. AcousticFields and Waves in Solids. New-York: Wiley, 1973. Vol. 1.
Статья научная
