Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы

Изготовление катода-мишени, подбор его химического состава, и установление оптимальной температуры нагрева для минимизации образования капельной фазы, являются важными условиями для получения покрытия с заданными свойствами. В статье исследуется тепловой режим работы расходуемого водоохлаждаемого катода-мишени, изготовленного из различных материалов (Al, Cu, Сталь 45, Ni, Ti, Mo), вакуумных электродуговых источников плазмы. Кроме того, необходимо установить оптимальную температуру нагрева катода-мишени и предотвратить его от перегрева тем самым минимизировать образование капельной фазы. Проведен анализ температуры нагрева катода-мишени. Представлены рассчитанные значения критерия Био для подтверждения гипотезы равномерности распределения температуры по толщине катода. Выбор оптимального состава катода-мишени и установление температуры его нагрева, позволят получить покрытие с заданными свойствами, при этом образование капельной фазы будет минимальным. Такие покрытия могут в дальнейшем использоваться как в изделиях медицинского назначения, так и промышленного назначения.