Развитие методики молекулярно-пучковой эпитаксии в институте аналитического приборостроения РАН
Автор: Петров В.Н., Поляков Н.К., Демидов В.Н., Корнеева Н.П., Цырлин Г.Э.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры
Статья в выпуске: 1 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
В работе приведен исторический обзор создания установок молекулярно-пучковой эпитаксии серии ЭП в НТО АН СССР. Представлены полученные в Лаборатории эпитаксиальных технологий ИАнП РАН за 1993-1999 годы научные результаты по теоретическим и экспериментальным исследованиям процессов эпитаксиального роста. Представлены проведенные разработки по усовершенствованию ростовой аппаратуры: комплекс для визуализации и компьютерной обработки картин ДБЭО, система автоматизации процессов роста. Дан прогноз перспективам дальнейшего развития аппаратуры и использования методики МПЭ.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264107
IDR: 14264107
Список литературы Развитие методики молекулярно-пучковой эпитаксии в институте аналитического приборостроения РАН
- Филаретов А.Г., Цырлин Г.Э.//Научное приборостроение. Физика аналитических приборов. 1989. с. 98-103.
- Гурьянов Г.М., Леденцов Н.Н., Петров В.Н., Самсоненко Ю.Б., Цырлин Г.Э., Филаре-тов А.Г.//Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19, № 18. С. 64-67.
- Губанов В.Б., Гурьянов Г.М., Леденцов Н.Н., Петров В.Н., Самсоненко Ю.Б., Цырлин Г.Э.//Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19, № 21. С. 73-78.
- Голубок А.О., Гурьянов Г.М., Леденцов Н.Н., Петров В.Н., Самсоненко Ю.Б., Типисев С.Я., Цырлин Г.Э.//ФТП. 1994. Т. 28, № 3. С. 515-518.
- Cirlin G.E., Guryanov G.M., Golubok A.O., Tipissev S.Ya., Ledentsov N.N., Kop'ev P.S., Grundmann M., Bimberg D.//Appl. Phys. Lett. 1995. v. 67. p. 97-99.
- Цырлин Г.Э., Голубок А.О., Типисев С.Я., Леденцов Н.Н., Гурьянов Г.М.//ФТП. 1995. Т. 29, № 9. С. 1697-1701.
- Juferev R.B., Novikov A.B., Novikov B.V., Verbin S.Yu., Dinh Son Thach, Gobsch G., Goldhahn R., Stein N., Golombek A., Cirlin G.E., Dubrovskii V.G., Petrov V.N.//Proc. of the 6th Int. Symp. «Nanostructures: physics and technology 98», St.Petersburg, p. 204-207.
- Губанов В.Б., Гурьянов Г.М., Демидов В.Н., Дубровский В.Г., Корнеева Н.П., Петров В.Н., Поляков Н.К., Самсоненко Ю.Б., Цырлин Г.Э.//Научное приборостроение. 1996. Т. 6, № 1/2. С. 3-17.
- Цырлин Г.Э., Петров В.Н., Масалов С.А., Голубок А.О., Леденцов Н.Н.//Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23, № 22. С. 80-84.
- Цырлин Г.Э., Петров В.Н., Дубровский В.Г., Масалов С.А., Голубок А.О., Комяк Н.И., Леденцов Н.Н., Алферов Ж.И., Бимберг Д.//Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24, № 8. С. 10-15.
- Цырлин Г.Э., Петров В.Н., Дубровский В.Г., Самсоненко Ю.Б., Поляков Н.К., Голубок А.О., Масалов С.А., Комяк Н.И., Устинов В.М., Егоров А.Ю., Ковш А.Р., М.В.Максимов, А.Ф.Цацульников, Б.В.Воловик, Жуков А.Е., Копьев П.С., Леденцов Н.Н., Алферов Ж.И., Бимберг Д.//ФТП. 1999. Т. 33, № 9. С. 1066-1069.
- Cirlin G.E., Polyakov N.K., Samsonenko Yu.B., Dubrovskii V.G., Petrov V.N., Egorov V.A., Denisov D.V., Busov V.M., Ustinov V.M.//Proc. of the 7th Int. Symp. «Nanostructures: physics and technology 99», St.Petersburg, 1999. p. 501-503.
- Cirlin G.E., Polyakov N.K., Petrov V.N., Egorov V.A., Samsonenko Yu.B., Denisov D.V., Busov V.M., Volovik B.V., Ustinov V.M., Alferov Zh.I., Ledentsov N.N., Bimberg D., Zakharov N.D., Werner P.//Czechoslovak Journal of Physics. 1999. V. 49, № 11. p. 1547-1552.
- Дубровский В.Г., Цырлин Г.Э.//ЖТФ. 1997. Т. 67, № 11. С. 136-138.
- Цырлин Г.Э.//Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23, № 4. С. 61-70.
- Dubrovskii V.G., Cirlin G.E., Bauman D.A., Kozachek V.V., Mareev V.V.//Vacuum. 1998. v. 50, № 1-2. p. 187-190.
- Гурьянов Г.М., Демидов В.Н., Корнеева Н.П., Петров В.Н., Самсоненко Ю.Б., Цырлин Г.Э.//ЖТФ. 1997. Т. 67, № 8. С. 111-116.
- Cirlin G.E., Korneeva N.P., Demidov V.N., Petrov V.N., Polyakov N.K., Dubrovskii V.G., Guryanov G.M., Ledentsov N.N., Bimberg D.//In: «Compound Semiconductors 1996», Inst. Phys. Conf., Ser. № 155, IOP Published Ltd., 1997. p. 821-824.
- Петров В.Н., Демидов В.Н., Корнеева Н.П., Поляков Н.К., Цырлин Г.Э.//Научное приборостроение. 1999. Т. 9, № 1. С. 65-70.
