Газоразрядные приборы, формирующие направленные потоки внеэлектродной плазмы. Ч. II. Результаты модификации. Новые приборы
Автор: Казанский Н.Л., Колпаков Всеволод Анатольевич, Колпаков А.И., Кричевский С.В., Подлипнов В.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы микро- и наноисследований
Статья в выпуске: 2 т.22, 2012 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрен новый класс газоразрядных приборов, формирующих направленные потоки внеэлектродной плазмы для изготовления микро- и наноразмерных дифракционных структур на широкоформатных пластинах.
Газоразрядный прибор, модернизация, генератор, фокусатор, внеэлектродная плазма, травление оптических материалов, формирование микрорельефа, формирование наноразмерных структур
Короткий адрес: https://sciup.org/14264789
IDR: 14264789
Статья научная
