ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКИ С ПРОСТРАНСТВЕННЫМ МИКРОСКАНИРОВАНИЕМ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТИ
Автор: Е. Е. Майоров, В. В. Курлов, Ю. М. Бородянский, А. В. Дагаев, И. С. Таюрская
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 1, 2024 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрена возможность применения экспериментальной интерференционной установки с пространственным микросканированием для контроля геометрических параметров поверхности. Получение высокоточной и достоверной информации о геометрических параметрах поверхности объектов всегда являлось важной задачей метрологии, поэтому данная работа актуальна и перспективна. В работе определена цель и поставлена задача исследования. Приведены оптическая схема, режим измерений микрорельефа поверхности с помощью экспериментальной интерференционной установки, а также оптическая пленка для определения угловой амплитуды колебаний. Полученные формулы позволяют рассчитать все параметры микросканирования зондирующего пятна по поверхности объекта экспериментальной интерференционной установкой.
Интерференционная установка, микрорельеф, микросканирование, диапазон измерений, точность измерений, погрешность измерений, поперечная составляющая, продольная составляющая
Короткий адрес: https://sciup.org/142240139
IDR: 142240139
Список литературы ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКИ С ПРОСТРАНСТВЕННЫМ МИКРОСКАНИРОВАНИЕМ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТИ
- 1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
- 2. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
- 3. Франсон М., Сланский С. Когерентность в оптике / пер. с франц. под ред. К.С. Шифрина. М.: Наука, 1967. 80 с.
- 4. Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. 926 с.
- 5. Малакара Д. Оптический производственный контроль / пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
- 6. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968. 263 с.
- 7. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.
- 8. Ахманов С.А., Дьяков Ю.Е., Чиркин А.С. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М., 1981. 640 с.
- 9. Майоров Е.Е. Федоренко А.Г., Чабаненко А.В., Хохлова М.В., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В. Исследование геометрии освещения в двухлучевых интерферометрах // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2022. Вып. 8. С. 75-80. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=49521599
- 10. Майоров Е.Е. Исследование выходного интерференционного сигнала в фазоизмерительной системе // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: Четвертая Всероссийская научная конференция (СПб., 18–22 апреля 2023 г.). Сб. докл. СПб.: ГУАП, 2023. C. 56–60. URL: https://elibrary.ru/itzldp
- 11. Майоров Е.Е., Пушкина В.П., Арефьев А.В., Бородянский Ю.М., Дагаев А.В., Гулиев Р.Б. Математическое моделирование интерференционного сигнала на выходе интерферометра для оценки погрешности измерений // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2022. Вып. 12. С. 230–234. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=50128366
- 12. Майоров Е.Е. К вопросу о погрешности измерений в сдвиговой интерферометрии // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: Четвертая Всероссийская научная конференция (СПб., 18–22 апреля 2023 г.). Cб. докл. СПб.: ГУАП, 2023. C. 61–64. URL: https://elibrary.ru/itzldp
- 13. Майоров Е.Е. Исследование сложных форм поверхностей когерентно ограниченной во времени системой // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: Четвертая Всероссийская научная конференция (СПб., 18–22 апреля 2023 г.). Cб. докл. СПб.: ГУАП, 2023. C. 65–68. URL: https://elibrary.ru/itzldp
- 14. Арефьев А.В., Коцкович В.Б., Майоров Е.Е., Пушкина В.П., Сорокин А.А., Удахина С.В. Исследование разработанного интерференционного зонда для измерения неровностей реальных поверхностей // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2022. № 2. С. 1–6. DOI: 10.25791/pribor.2.2022.1319
- 15. Бородянский Ю.М., Майоров Е.Е., Петрова Е.А., Попова Е.В., Курлов В.В., Удахина С.В. Измерение геометрических параметров поверхностей сложной формы низкокогерентной оптической системой // Приборы. 2022. № 5 (263). С. 3–7. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=48969218
- 16. Хохлова М.В., Дагаев А.В., Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Громов О.В. Интерференционная система измерения геометрических параметров отражающих поверхностей // Международный научно-исследовательский журнал. 2021. № 6 (108). С. 184–189. DOI: 10.23670/IRJ.2021.108.6.029
- 17. Франсон М. Оптика спеклов / пер. с франц. под ред. проф. Ю.И. Островского. М.: Мир, 1980. 171 с.
