Микросенсор потока теплового типа для датчика массового расхода воздуха
Автор: Сажин Олег Владимирович, Первушин Ю.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры, исследования, приборы
Статья в выпуске: 3 т.21, 2011 года.
Бесплатный доступ
Разработана аналитическая модель сенсора потока теплового типа. Результаты применения модели использованы для разработки микросенсора потока теплового типа с оптимальными функциональными характеристиками. Описана технология изготовления микросенсора. Изготовлен опытный образец микросенсора, пригодный для использования в датчике массового расхода воздуха. Представлены основные характеристики микросенсора.
Сенсор потока теплового типа, массовый расход, тепломассоперенос, датчик массового расхода
Короткий адрес: https://sciup.org/14264739
IDR: 14264739
