Микросенсор потока теплового типа для датчика массового расхода воздуха
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры, исследования, приборы
Статья в выпуске: 3 т.21, 2011 года.
Бесплатный доступ
Разработана аналитическая модель сенсора потока теплового типа. Результаты применения модели использованы для разработки микросенсора потока теплового типа с оптимальными функциональными характеристиками. Описана технология изготовления микросенсора. Изготовлен опытный образец микросенсора, пригодный для использования в датчике массового расхода воздуха. Представлены основные характеристики микросенсора.
Похожие статьи в разделе Oтрасли промышленности и ремесла для изготовления и обработки различных изделий
Короткий адрес: https://sciup.org/14264739
IDS: 14264739 | УДК: 681.121.83;
Flow micro sensor of thermal type for air mass flow meter
The analytical model of the thermal type flow sensor is developed. Results of model application are used for the manufacture of the flow micro sensor of thermal type with optimum functional characteristics. The manufacturing technology of the micro sensor is described. The prototype of the micro sensor for air mass flow meter is made. The main characteristics of this micro sensor are presented.
