Моделирование разлета и осаждения импульсных атомарных пучков при формировании нанопокрытий в разреженных газовых средах
Автор: Денисов Сергей Владимирович, Костычев Игорь Васильевич, Саморуков Игорь Иванович, Фоминский Вячеслав Юрьевич
Журнал: Вестник Ассоциации вузов туризма и сервиса @vestnik-rguts
Рубрика: Материаловедение изделий сервиса
Статья в выпуске: 4 т.4, 2010 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты расчетных экспериментов по свободному разлету и разлету «за преграду» высокоскоростных потоков атомов различных химических элементов в инертной газовой среде пони- женного давления (1-100 Па). Разработанная компьютерная модель позволяет проводить анализ ди- намики импульсных атомарных пучков и процессов их осаждения в заданных по составу и давлению газа условиях. Показано, что инертная газовая среда оказывает существенное влияние на параметры пролетающего через нее потока атомов - энергетический спектр, угловые диаграммы, распределение по поверхности подложки, играющие важную роль в формировании структуры и химического состава нанокомпозитных покрытий с качественно новыми свойствами.
Покрытия, лазер, газовая среда
Короткий адрес: https://sciup.org/140209106
IDR: 140209106
Список литературы Моделирование разлета и осаждения импульсных атомарных пучков при формировании нанопокрытий в разреженных газовых средах
- Быковский Ю. А., Неволин В. Н., Фоминский В. Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991. 240 с.
- Fominski V. Yu., Markeev A. M., Nevolin V. N. Pulsed laser deposition of MoSx films in a buffer gas atmosphere//Thin Solid Films. 1994. V. 248. P. 240-246.
- Fominski V. Yu., Nevolin V. N., Romanov R. I., Smurov I. Ion-assisted deposition of MoSx films from laser-generated plume under pulsed electric field//J. Appl. Phys. 2001. V. 89. P. 1449-1457.
- Hu J. J., Zabinski J. S., Bultman J. E. Sanders J. H., Voevodin A. A. Structure characterization of pulsed laser deposited MoSx -WSey composite films of tribological interests//Tribology Letters. 2006. V. 24. P. 127-135.
- Fominski V. Yu., Romanov R. I., Gusarov A. V., Celis J.-P. Pulsed laser deposition of antifriction thin-film MoSex coatings at the different vacuum conditions//Surface and Coatings Technology, 2007. V. 201. P. 7813-7821.
- Фоминский В. Ю., Романов Р. И., Гнедовец А. Г. Импульсное лазерное осаждение тонкопленочных покрытий с применением капельной заслонки//Упрочняющие технологии и покрытия, 2008. № 12. С. 41-47.
- Bird G. A. Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows. Clarendon Press. Oxford, 1994. 458 p.
- Ziegler J. F., Ziegler M. D., Biersack J. P. SRIM -The Stopping and Range of Ions in Matter. http://www.srim.org/.
- Денисов С. В., Костычев И. В., Саморуков И. И., Фоминский В. Ю. Математическое моделирование ионной имплантации из импульсного потока плазмы на обрабатываемое изделие в импульсных электрических полях//Вестник ассоциации вузов туризма и сервиса. 2008. № 4. С. 6
