Моделирование влияния механических напряжений на кинетику роста кислородных преципитатов в кремнии

В данной работе развита модель, описывающая кинетику образования преципитатов кислорода в кремниевых пластинах с учетом внутренних механических напряжений, возникающих в системе преципитат - кремниевая матрица. Рассмотрен случай преципитата сферической формы и записаны механические напряжения, вызываемые в кремниевой матрице разностью удельных объемов Si и SiO2. В рамках модели преципитации введены конкретные механизмы влияния механических напряжений на энергии активации процессов диффузии и захвата кислорода. Приведен анализ изменения количественного критерия, определяющего, какой из процессов (диффузия кислорода или его захват) лимитирует скорость преципитации. Выполнены оценки относительного изменения критического размера преципитата под действием механических напряжений, возникающих на его границе, при температуре Т = 700 °С