Осаждение металлов в нанопоры кремния при формировании стоковой области силового транзистора

В работе исследовано нанесение металлов в нанопоры кремния, образованные в результате проведения пескоструйной обработки при формировании контакта со стоковой областью транзисторной структуры. Приведены результаты исследования подложки кремниевой структуры при осаждении в нанопоры кремния композиции "хром – никель – олово – серебро". Исследования проводились на сканирующем электронном рентгеновском микроанализаторе и рентгеновском микродифрактометре. Показано, что полученные нанопоры улучшают адгезионные свойства поверхности кремниевой подложки.