Разработка пористых структур на кремнии
Автор: Сакун Е.А., Полюшкевич А.В., Харлашин П.А., Семенова О.В., Корец А.Я.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 4 т.3, 2010 года.
Бесплатный доступ
В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо.
Пористый кремний, пористые структуры на кремнии, магнитные структуры
Короткий адрес: https://sciup.org/146114553
IDR: 146114553
