Программное обеспечение для расчета и моделирования дифракционных решёток в рамках строгой электромагнитной теории
Автор: Досколович Л.Л., Кадомина Е.А., Кадомин И.И., Харитонов С.И.
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Общая физика и электроника
Статья в выпуске: 4 т.8, 2006 года.
Бесплатный доступ
Представлено разработанное программное обеспечение Grating для решения задачи дифракции на дифракционных решетках в рамках строгой электромагнитной теории. Проведено сравнение Grating по скорости счета с известной коммерческой программой GSolver на примерах решения одномерных и двумерных задач дифракции. Приведены примеры использования Grating для решения задачи дифракции на линзовых растрах.
Короткий адрес: https://sciup.org/148197887
IDR: 148197887 | УДК: 535.42
Software for the design and simulation of diffraction gratings within rigorous electromagnetic theory
The Grating software for the design and simulation of diffraction gratins within the rigorous electromagnetic theory is presented. The software is compared with the well-known commercial software GSolver in terms of computation speed. The comparison is based on the examples of 1D and 2D diffraction problem solutions. The application of Grating to the solution of diffraction problem on lens raster is also considered.
Список литературы Программное обеспечение для расчета и моделирования дифракционных решёток в рамках строгой электромагнитной теории
- P. C. Logofatu, S. A. Coulombe, B. K. Minhas, J.R. McNeil. Identity of the cross-reflection coefficients for symmetric surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A, 1999. Vol. 16, N 5, pp. 1108-1114.
- C. J. Raymond, M. R. Murnane, S. S. H. Naqvi, and J. R. McNeil. Metrology of subwavelength photoresist gratings using optical scatterometry//J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1484-1495 (1995).
- J. R. McNeil, S. S. H. Naqvi, S. M. Gaspar, K. C. Hickman, K. P. Bishop, L. M. Milner, R. H. Krukar, and G. A. Petersen. Scatterometry applied to microelectronic processing//Microlithography World 1, 16-22 (1992).
- Electromagnetic Theory of Gratings: Topics in current physics, Ed. by R.Petit, N.Y.: Springer-Verlag, 1980.
- M. Moharam, D.Pommet, E.Grann. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: enhanced transmittance matrix approach//Journal of Optical Society of America A. -1995 -Vol.12, №5. -P.1077-1086.
- Moharam M.G., Grann E.B., Pommet D.A., Gaylord T.K. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings//Journal of Optical Society of America A. -1995. -Vol.12, №5. -P.1068-1076.
- L. Li. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures//Journal of Optical Society of America A. -1996. -Vol.13, № 9. -P.1870-1876.
- S. Peng, G. M. Morris. Efficient implementation of rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A,Vol. 12, No. 5, 1995, pp.1087-1096.
- Lifeng Li. Fourier modal method for crossed anisotropic gratings with arbitrary permittivity and permeability tensors//J. Opt. A: Pure Appl. Opt., N 5, 2003, pp. 345-355
- Lifeng Li. New formulation of the Fourier modal method for crossed surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A,Vol. 14, No. 10, 1997, pp.2758-2767.
