Программное обеспечение для расчета и моделирования дифракционных решёток в рамках строгой электромагнитной теории
Автор: Досколович Л.Л., Кадомина Е.А., Кадомин И.И., Харитонов С.И.
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Общая физика и электроника
Статья в выпуске: 4 т.8, 2006 года.
Бесплатный доступ
Представлено разработанное программное обеспечение Grating для решения задачи дифракции на дифракционных решетках в рамках строгой электромагнитной теории. Проведено сравнение Grating по скорости счета с известной коммерческой программой GSolver на примерах решения одномерных и двумерных задач дифракции. Приведены примеры использования Grating для решения задачи дифракции на линзовых растрах.
Короткий адрес: https://sciup.org/148197887
IDR: 148197887
Список литературы Программное обеспечение для расчета и моделирования дифракционных решёток в рамках строгой электромагнитной теории
- P. C. Logofatu, S. A. Coulombe, B. K. Minhas, J.R. McNeil. Identity of the cross-reflection coefficients for symmetric surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A, 1999. Vol. 16, N 5, pp. 1108-1114.
- C. J. Raymond, M. R. Murnane, S. S. H. Naqvi, and J. R. McNeil. Metrology of subwavelength photoresist gratings using optical scatterometry//J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1484-1495 (1995).
- J. R. McNeil, S. S. H. Naqvi, S. M. Gaspar, K. C. Hickman, K. P. Bishop, L. M. Milner, R. H. Krukar, and G. A. Petersen. Scatterometry applied to microelectronic processing//Microlithography World 1, 16-22 (1992).
- Electromagnetic Theory of Gratings: Topics in current physics, Ed. by R.Petit, N.Y.: Springer-Verlag, 1980.
- M. Moharam, D.Pommet, E.Grann. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: enhanced transmittance matrix approach//Journal of Optical Society of America A. -1995 -Vol.12, №5. -P.1077-1086.
- Moharam M.G., Grann E.B., Pommet D.A., Gaylord T.K. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings//Journal of Optical Society of America A. -1995. -Vol.12, №5. -P.1068-1076.
- L. Li. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures//Journal of Optical Society of America A. -1996. -Vol.13, № 9. -P.1870-1876.
- S. Peng, G. M. Morris. Efficient implementation of rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A,Vol. 12, No. 5, 1995, pp.1087-1096.
- Lifeng Li. Fourier modal method for crossed anisotropic gratings with arbitrary permittivity and permeability tensors//J. Opt. A: Pure Appl. Opt., N 5, 2003, pp. 345-355
- Lifeng Li. New formulation of the Fourier modal method for crossed surface-relief gratings//J. Opt. Soc. Am. A,Vol. 14, No. 10, 1997, pp.2758-2767.
Статья научная
