Решение задачи рефлектометрии для решетки с трапецеидальным профилем
Автор: Досколович Л.Л., Кадомина Е.А., Кадомин И.И.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 1 т.32, 2008 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены методы решения задачи рефлектометрии для дифракционной решетки с трапецеидальным профилем. Представлен метод решения, основанный на использовании нейронной сети и гибридный метод, основанный на поиске по таблице с последующей оптимизацией. Приведенные результаты исследования свидетельствуют о высокой точности методов.
Короткий адрес: https://sciup.org/14058787
IDR: 14058787
Статья научная
