Исследование деформирования чувствительного элемента микроакселерометра с учетом влияния электростатических и температурных воздействий

Проводится исследование влияния сил электростатического взаимодействия на чувствительный элемент микромеханического акселерометра при различных температурах окружающей среды. Приведены зависимости между измеряемым ускорением, отклонением чувствительного элемента и величиной емкости между обкладками конденсатора. Показано влияние сил кулоновского взаимодействия, возникающих между чувствительным элементом датчика и подложкой, на выходные параметры микроакселерометра и на точность измерений. Решена связанная электромеханическая задача с учетом влияния внешнего температурного поля. Показана возможность появления «шумового» сигнала при нулевых внешних нагрузках, обусловленного влиянием дополнительной силы между подвижными обкладками конденсатора переменной емкости и влиянием температурного поля.