Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок
Автор: Адамов Антон Андреевич, Храмов Владимир Николаевич
Журнал: Математическая физика и компьютерное моделирование @mpcm-jvolsu
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 4 (41), 2017 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрена задача определения толщины тонких пленок методом лазерной триангуляции. Получено выражение, связывающее значение толщины пленки и координаты лучей на фотоприемнике. Экспериментально показана возможность применения данного метода для измерения толщин в диапазоне [0,1;1] мм. Полученные результаты могут быть использованы в офтальмологии для экспресс-диагностики во время проведения операций на роговичном слое.
Лазерная триангуляция, толщина, тонкая пленка, пзс-матрица, показатель преломления, погрешность измерения
Короткий адрес: https://sciup.org/14969052
IDR: 14969052 | DOI: 10.15688/mpcm.jvolsu.2017.4.8
Список литературы Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок
- Андреев, В. Г. Повышение точности измерения геометрических параметров движущихся объектов методом лазерной триангуляции/В. Г. Андреев, О. В. Пальчик//Датчики и системы. -2004. -№ 9. -C. 6-9.
- Бронштейн, И. Н. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов/И. Н. Бронштейн, К. А. Семендяев. -М.: Наука, 1956. -609 c.
- Бурков, А. С. Возможность создания автоматизированного устройства для контроля плановых смещений тела плотины/А. С. Бурков, С. С. Митрофанов//Современные проблемы науки и образования. -2015. -№ 1. -C. 181-182.
- Визуализация распределения меланина и индоцианина зеленого внутри биоткани/Э. А. Генина, И. В. Федосов, А. Н. Башкатов, Д. А. Зимняков, Г. Б. Альтшулер, В. В. Тучин//Квантовая электроника. -2008. -Т. 38, № 3. -C. 263-268.
- Зимняков, Д. А. Оптическая томография тканей/Д. А. Зимняков, В. В. Тучин//Квантовая электроника. -2002. -Т. 32, № 10. -C. 849-867.
- Изотова, В. Ф. Исследование параметров слоистых неоднородных структур методом лазерной поляризационной нефелометрии: дис.... канд. физ.-мат. наук/Изотова Вера Филипповна. -Саратов, 1996. -145 c.
- Кассандрова, О. Н. Обработка результатов наблюдений/О. Н. Кассандрова, В. В. Лебедев. -М.: Наука, 1970. -104 c.
- Метод дистанционной диагностики внутренней структуры слоистых сред/В. В. Лычагов, А. Л. Кальянов, Д. В. Лякин, В. П. Рябухо//Квантовая электроника. -2008. -Т. 38, № 6. -C. 563-569.
- Тучин, В. В. Исследование биотканей методами светорассеяния/В. В. Тучин//Успехи физических наук. -1997. -Т. 167, № 5. -C. 517-539.
- Тучин, В. В. Оптика биологических тканей. Методы рассеяния света в медицинской диагностике/В. В. Тучин. -М.: Физматлит, 2013. -812 c.
- Щелоков, Р. В. Эллипсометрическое исследование оптических свойств роговицы глаза: дис.... канд. физ.-мат. наук/Щелоков Роман Викторович. -Волгоград, 2006. -177 c.
- Экспериментальный анализ погрешности измерения триангуляционного метода в задачах технологического контроля профиля поверхности сложной формы/Н. В. Барышников, И. В. Животовский, Д. Г. Денисов, В. Я. Менделеев//Инженерный журнал: наука и инновации. -2013. -Вып. 9 (21). -C. 34-35.
- Яцышен, В. В. Экспресс-диагностика состояния роговицы глаза/В. В. Яцышен, Р. В. Щелоков//Вестник Волгоградского государственного университета. Серия 1, Математика. Физика. -2007. -Вып. 2. -C. 99-106.
- Johnson, R. Optical position/R. Johnson, C. Lentz. Circuit cellar issue. -Electronic text data. -Mode of access: www.circuit-cellar.com. -Title from screen.
