Разработка цифровой электронной подсистемы микромеханического гироскопа с кольцевым резонатором
Автор: Иванов С.Ю.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Механика
Статья в выпуске: 2 (30) т.8, 2016 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены принципы разработки системы управления для микроэлектромеханического (МЭМ) гироскопа с кольцевым резонатором с максимально широким применением цифровых технологий. Приведено описание предложенной системы управления и результаты численного моделирования её работы. Показана возможность использования значения частоты первичных колебаний для высокоточного измерения температуры. Представлены результаты испытаний на автоматизированном испытательном стенде макетного образца гироскопа, полностью подтверждающие работоспособность разработанной цифровой системы управления.
Микроэлектромеханический гироскоп, кольцевой резонатор, система управления, цифровая обработка сигнала, плис
Короткий адрес: https://sciup.org/142186129
IDR: 142186129
Список литературы Разработка цифровой электронной подсистемы микромеханического гироскопа с кольцевым резонатором
- Матвеев В.А., Липатников В.И., Алехин А.В. Проектирование волнового твердотельного гироскопа. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1997
- Тимошенков С.П., Анчутин С.А., Плеханов В.Е., Кочурина Е.С., Тимошенков А.С., Зуев Е.В. Разработка математического описания кольцевого микрогироскопа//Нанои микросистемная техника. 2014. Т. 5. С. 18-25
- Prikhodko I.P., Trusov A.A., Shkel A.M. Compensation of drifts in high-Q MEMS gyroscopes using temperature self-sensing//Sensors and Actuators A: Physical. 2013. V. 201. P. 517-524
- Hopcroft M.A., Nix W.D., Kenny T.W. What is the Young’s Modulus of Silicon?//Journal of Microelectromechanical Systems. 2010. V. 19, N 2. P. 229-238
