Разработка технологии нанесения радиоотражающих покрытий
Автор: Михеев Анатолий Егорович, Гирн Алексей Васильевич, Харламов Валерий Анатольевич, Чернятина Анастасия Александровна, Хоменко Игорь Иванович
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 4 (50), 2013 года.
Бесплатный доступ
Разработана технология напыления многослойного радиоотражающего покрытия методом магнетронного распыления. Представлены результаты процесса подготовки поверхности под нанесение покрытий, результаты измерения скорости осаждения слоев SiO 2 и Al, удельного сопротивления алюминиевой пленки в зависимости от условий и режимов напыления. Установлены основные технологические режимы напыления всех слоев покрытия.
Короткий адрес: https://sciup.org/148177149
IDR: 148177149
