Металлургия и материаловедение. Рубрика в журнале - Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии
Статья научная
Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига.
Бесплатно
Изготовление металлической мастер-формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции
Статья научная
Изготовление микрофлюидных чипов с помощью метода лазерной абляции является перспективной альтернативой традиционному методу фотолитографии. Однако неоптимальный выбор параметров лазерного излучения при обработке поверхности может привести к низкому качеству или порчи подложки. В связи с этим актуальной является потребность в систематическом исследовании влияния параметров лазерной обработки на результирующие характеристики микрорельефа подложки. В данной работе рассматриваются особенности изготовления металлической мастер- формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции. Подробно обсуждаются методологические аспекты процесса изготовления мастер-формы, связанные с подбором оптимальных параметров лазерного излучения, и выбора материала для изготовления мастер-формы. Показано, что максимальная разрешающая способность микроструктур и каналов при работе с нержавеющей сталью достигается при мощности лазерного излучения 0,6 Вт и частоте 40 кГц. Установлена линейная зависимость глубины канала от количества проходов лазера: 0,5 мкм за 1 проход при скорости 400 мм/с. При работе с алюминием оптимальными параметрами мощности и частоты являются 3 Вт и 30 кГц соответственно. Однако при этом удаления материала с поверхности подложки не происходило, что делает алюминий малопригодным для изготовления мастер-форм. Таким образом, была показана возможность применения метода лазерной абляции для изготовления металлических мастер- форм микрофлюидных чипов. Несмотря на ряд выявленных ограничений, связанных с разрешающей способностью и необходимостью подбора параметров лазерного излучения для каждого типа материала, такой способ является перспективным для экспресс- прототипирования микрофлюидных устройств.
Бесплатно
