Area measurement crystals grown from the liquid melt using the Czochralski method, based on the control-circuit conditions contact sensor liquid level

Автор: Sakhanskiy Sergey P.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu

Статья в выпуске: 7 т.8, 2015 года.

Бесплатный доступ

For crystals grown from the liquid melt using the Czochralski method, the mathematical model of the current control chip area by controlling the conditions of the contact sensor circuit level of the melt in the crucible, which allows to calculate the control signal, as the difference between the current and the target area grown crystals.

Crucible, growing crystals, the level sen

Короткий адрес: https://sciup.org/146115010

IDR: 146115010 | DOI: 10.17516/1999-494X-2015-8-7-835-850

Список литературы Area measurement crystals grown from the liquid melt using the Czochralski method, based on the control-circuit conditions contact sensor liquid level

Пат. 2128250 Российская Федерация, МПКС30 В15⁄20, 15/22, 15/26. Способуправления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления/С.П. Саханский, О.И. Подкопаев, В.Ф. Петрик -заявлено 16.01.97, опубл. 27.03.99, Бюл. № 9.
Пат. 2184803 Российская Федерация, МПК С30 В15⁄20, 15/22, 15/12 29/08. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления/С.П. Саханский, О.И. Подкопаев, В.Ф. Петрик, В.Д. Лаптенок -заявлено 12.11.99, опубл. 10.07.02, Бюл. № 19.
Сахански, С. П.//Вестник СибГАУ. 2005. Вып. 7. С. 85-88.
Саханский С. П. Управление процессом выращивания монокристаллов германия: монография. Красноярск: СибГАУ, 2008. 104 с. ISBN 978-5-86433-366-2.
Саханский С.П.//Журнал СФУ. Техника и технологии. 2014 (7). № 1. 20-31.

Статья научная