Влияние ультразвука на откачку электронных приборов
Шешин Е.П.,
Неуймин Г.Г.,
Ли И.П.,
Шуманов А.В.,
Ханбеков И.Ф.
ОБОРУДОВАНИЕ МОС-ГИДРИДНОЙ ЭПИТАКСИИ НИТРИДА ГАЛЛИЯ НА ПОДЛОЖКАХ КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 200 мм ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ТРАНЗИСТОРНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР
М. Г. Бирюков,
П. Е. Афонин,
С. А. Щуренкова,
Д. Ю. Пугачев,
А. Ф. Цацульников,
А. В. Сахаров,
Е. Е. Заварин,
В. В. Лундин,
Д. С. Базаревск