ОБОРУДОВАНИЕ МОС-ГИДРИДНОЙ ЭПИТАКСИИ НИТРИДА ГАЛЛИЯ НА ПОДЛОЖКАХ КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 200 мм ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ТРАНЗИСТОРНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР
М. Г. Бирюков,
П. Е. Афонин,
С. А. Щуренкова,
Д. Ю. Пугачев,
А. Ф. Цацульников,
А. В. Сахаров,
Е. Е. Заварин,
В. В. Лундин,
Д. С. Базаревск
Результаты апробации системы мониторинга эксплуатационных показателей трактора
Демчук Е.В.,
Союнов А.С.,
Шимохин А.В.,
Прокопов С.П.,
Мальцева Е.И.,
Кузьмин Д.Е.